互联网看点:继三星之后SK海力士也将在内存产线上使用EUV光刻机

时间:2021-07-08 13:08:19来源:
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一篇有关互联网,手机,科技方面文章给大家,相信很多小伙伴们还是对互联网,手机科技,这方面还是不太了解,那么小编也在网上收集到了一些关于手机和互联网这方面的相关相信来分享给大家,希望大家看了会喜欢

ASML的EUV光刻机已经成为7nm以下制程的关键了,三星、台积电、Intel都在购买单价高达10亿元的EUV光刻机用于生产。除了CPU之外,内存工艺也会逐步导入EUV光刻机,三星之后SK海力士也要这么做。

  据韩国媒体报道,全球第二大DRAM内存供应商SK海力士已经在研发1a nm工艺的内存,内部代号南极星,具体节点大概在15nm,预计会引入EUV光刻机生产。

  对内存来说,它跟CPU逻辑工艺一样面临着需要微缩的问题,EUV光刻机可以减少多重曝光工艺,提供工艺精度,从而可以减少生产时间、降低成本,并提高性能。

  不过内存使用EUV工艺问题也不少,首要问题就是EUV光刻机售价太高,10亿一台,还要考虑到维护费用,所以初期要承担不小的成本压力。

  目前SK海力士最先进的内存工艺主要是1y、1z nm,今年下半年这两种工艺将占到40%的产能比重。

  3月初,三星表示,将从第四代10nm级(D1a)DRAM或高端级14nm级DRAM开始全面导入EUV,明年基于D1a大规模量产DDR5和LPDDR5内存芯片,预计会使12英寸晶圆的生产率翻番。

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